真空泵机组的抽速

点击次数:   更新时刻:22/08/23 08:53:08     来历:www.idahodrygoods.com封闭分    享:
  任何真空系统都希望尽可能缩短抽气的时刻,这关系到提高其效率和下降能耗,但其实不是所有的┞锋空应用都具有缩短抽气时刻的条件。真空泵机组真空度要求在0.5pa以上,只要时刻常数足够的小,便可昼量缩短抽气的时刻。
  真空泵机组真空度要求在0.5Pa以下,就要改虑放气对压力转变的影响。放气量随时刻的转变迟缓。特殊是在无烘烤的景象下。要在预定较短的时刻内达到较高的┞锋空度,就要以较大年夜的抽速抽除较大年夜的放气量。也就是说如放气量为Q,泵的有用抽速为S0,则可达到均衡压力P=Q/S0.如均衡压力肯定,则达到的时刻越短,要求真空泵机组的有用抽速就越大年夜。蒸发镀膜就是典型的┞封类的应用,因为蒸镀的速度快,时刻短,所以不斟酌放气量的影响(即活性气体的影响)。但蒸发粒子的能量低,要求绝大年夜部分粒子无碰撞地沉积到工件上,以包管连络力及削减散射,这就要求真空室内的平均自由嘲痘小于蒸发源到工件的距离,与此响应的压力约在1×10-2Pa,这便是蒸发镀膜对真空度的要求。
  若安在尽可能短的时刻内达到这一压力,就对泵的有用抽速提出了要求,原则是时刻越短,因为放气量越大年夜,有用抽速就要求越大年夜。所以蒸发镀膜一般设置装备安排抽速壮大年夜的油分散泵机组,功率稀有十千瓦,几分钟至十几分钟内便可达到工作真空度,但该系统对工件造成的油蒸汽污染是难以避免的,特殊是塑料金属化膜层易发黄。
  今朝真空泵机组抽速知足不了大年夜型蒸发镀的需要。而大年夜抽速的低温泵又是工业化范围镀膜所承受不了的。依照被抽暇间气体负载的特征,操作分子增压泵抽除气体,连络低温冷凝水捕集泵抽除水蒸汽,有望实现大年夜抽速获得干净真空的全新抽气工艺。

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